ERIKS的主要产品之一是密封圈。ERIKS提供各种不同材质和尺寸的密封圈,以适应不同环境下的密封要求。ERIKS与杜邦公司合作,推出一系列以Viton和Kalrez为材质的产品。针对半导体行业,ERIKS提供标准的杜邦Kalrez产品,并且可以根据客户的要求设计“超大”密封圈产品。
在晶圆工厂中,根据制程的不同,对密封圈的要求也不同。防化学腐蚀再加上耐高温的特性,使得Kalrez产品能够胜任几乎所有制程,包括等离子刻蚀。除此之外,Kalrez超纯产品是为半导体行业度身定做的,能够在反应性等离子体环境和除气过程中,达到更低的污染度,并且能改进真空密封性能和减少气泡。Kalrez超纯产品是在无尘环境中生产的,并且经过特殊清洗和双层包装。Kalrez产品可在以下的应用中保持长期的可靠性:刻蚀,灰化,HDPCVD,PECVD;扩散,LPCVD,RTP,退火;湿刻蚀,清洗,光刻胶剥离,镀铜。
苏州正成国际贸易有限公司是ERIKS产品在中国地区的第一家代理,我们提供专业的技术支持,为客户设计整体解决方案,帮助客户选择适用的密封圈产品。并为客户提供备品备件,使其降低成本,提高效益。